Die FEI Quanta 3D FEG ist eine Dual-Beam-Maschine auf dem neuesten Stand der Technik, die ein traditionelles thermisches Rasterelektronenmikroskop (REM) mit dem fokussierten Ionenstrahl (FIB) kombiniert. Diese Kombination ermöglicht die Charakterisierung von Materialien in 2D und 3D (Tomographie), TEM Probenpräparation (TEM Lamella), Beobachtungen unterhalb der Oberfläche der Proben (Querschnittsabbildung) und Strukturmodifikation von Probenoberflächen im Mikrometer- bis Nanometerbereich. Die Maschine verfügt über drei verschiedene Vakuummodi (Hochvakuum-, Niedrigvakuum- und Umgebungsmodus), die eine Vielzahl von Proben für die SEM-Analyse aufnehmen können. Dies können entweder trockene anorganische Proben oder hydratisierte biologische Proben sein. Die Quanta 3D FEG verfügt auch über einen EBSD-Detektor für die kristallographische Orientierungsanalyse, Korn- und Phasenanalyse von Material- und geologischen Proben mit einem optionalen EDS-Detektor für semi-quantitative, Point & Shoot-Analysen.

Technische Daten des Geräts:

Elektronensäule:

• Hochauflösende Feldemission - SEM-Säule optimiert für hohe Helligkeit und hohe Stromstärke
• Beschleunigungsspannung: 2kV bis 30kV
• Sondenstrom: 1 pA bis 65 pA in 15 Schritten
• Vergrößerung - 30x - 1.000.000x
• SE & BSE-Detektoren
• Niedervakuum-SED (im Niedervakuum-Modus)
• EDAX-OIM-Elektronenrückstreubeugung (EBSD) -System
• EDAX-Energiedispersionsspektroskopie-System
• Low-Vakuum-Modus
• Maximale Elektronenstrahlauflösung - 0,8 nm bei 30 kV

Fokussierte Ionenstrahlsäule:

• Hochstrom-Ionensäule mit Ga-Flüssigmetall-Ionenquelle
• Ionenquelle - 1 kV bis 30 kV
• Omniprobe-Nanomanipulator
• In situ Pt und C Gasinjektionssysteme
• XeF2 Injektionsnadel zum lokalen Ätzen
• Maximale Ionenstrahlauflösung - 7 nm bei 30 kV • Avizo Fire für 3D-Rekonstruktion in der Nanotomographie